Аннотация: Ионная и фотонная обработка материалов
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
| Автор/составитель | Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич |
| Год выпуска | 2022 |
| ISBN | 978-985-06-3395-8 |
| Производитель | Вышэйшая школа |
| Издательство | Вышэйшая школа |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 246 |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Размеры | 207x147x17 мм |
| Цвет | Голубой |
| Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
| Возрастная категория | 0+ |
| Вес | 384 |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Ионная и фотонная обработка материалов
- Производитель: Вышэйшая школа
- Модель: MYSH4863952
- ISBN: 978-985-06-3395-8
- Наличие:
