Аннотация: МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) - одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ , затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе - основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Издательство	Техносфера
Автор/составитель	None
Серия	Мир материалов и технологий
Год выпуска	2020
Кол-во страниц	488
ISBN	978-5-94836-521-3
Обложка	Пер
Вес	753г
Формат	17 x 25 cm
Тираж	100
Возрастная категория	16+
Дата выпуска	2018 г.
Количество томов	1
Количество страниц	488
Переплет	мягкий
Стандарт	10
Вес	500