Аннотация: Введение в современную микро- и наносистемную технику
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
| Автор/составитель | Гридчин Александр Викторович |
| Год выпуска | 2024 |
| ISBN | 978-5-9729-1613-9 |
| Производитель | Инфра-Инженерия |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 232 |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Размеры | 217x154x14 мм |
| Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
| Вес | 390 |
| Язык | русский |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Введение в современную микро- и наносистемную технику
- Модель: MYSH4999065
- ISBN: 978-5-9729-1613-9
- Наличие:
