Аннотация: Введение в современную микро- и наносистемную технику

Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.

Автор/составитель	Гридчин Александр Викторович
Год выпуска	2024
ISBN	978-5-9729-1613-9
Производитель	Инфра-Инженерия
Количество томов	1
Количество страниц	232
Переплет	Твёрдый переплёт
Размеры	217x154x14 мм
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Вес	390
Язык	русский